测量传感器

非接触，高精度激光距离传感器，位置传感器和测量传感器。

排队

激光剖面

2D和3D激光扫描仪 /探查器，用于测量高度，步长，面积，角度，半径，点到点，点到线等等。

激光位移传感器

单点，非接触传感器，用于测量距离，位置或厚度，速度和精度。

光学千分尺 /激光千分尺

1D和2D激光扫描和光学微米量规直径，螺距，宽度角圆度，位置和半径。

3D干扰测量传感器

高精度3D测量最大10 x 10mm的区域。3D白光干涉法可以在仅0.13秒内产生没有死区的精确图像。

光谱干扰移位传感器

用纳米分辨率测量绝对距离的位移仪。测量薄膜，晶圆和其他光谱目标的高度或厚度。

ar 欧宝

金属目标，跳动，厚度，定位和偏心的距离，跳动，厚度，定位和偏心率的高速测量。

LVDT /接触位移传感器（探针）

高精度和高度耐用的检测，最高为0.1微米。连接多个单元进行计算或比较。