测量系统的类型

1D激光位移传感器

三角测量法

如下图所示,一束激光照射到目标上,从目标上反射回来的光通过接收透镜聚集到光接收元件上。如果传感器到目标的距离发生变化,则反射光的角度发生变化,导致接收光在光接收元件上的位置发生变化。这种变化与目标的移动量成正比,因为我们知道光接收元件上每个位置之间的距离,我们能够确定位移。

参考距离
测量范围接近终点
测量范围远端
一个
半导体激光器
B
发射机的镜头
C
收光透镜
D
光接收元件
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共焦方法

激光通过连接在振荡调谐叉上的一对透镜发射和接收。当接收光的强度大于设定的阈值时,测量调谐叉的位置,因为该位置与传感器的特定距离有关,因此可以计算位移。

目标不在焦点
只有少量接收到的光通过针孔。
目标明确
所有接收到的光都通过针孔。
(1)
接收到的少量光
(2)
接收光量大
一个
半导体激光器
B
针孔
C
光接收元件
D
音叉
E
传感器
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光谱干涉法

道防线
SLD向目标发射光谱光。在传感器头部内,有一个半透明的镜子,它将这些光的一部分反射回传感器,创建一个参考表面,同时允许其余的光通过并从目标表面反射回传感器。
干涉光
两束反射光相互干扰。干涉的强度取决于参考曲面与目标之间的距离。
光谱分析
用分光镜将干涉光分割成不同的波长,产生特定波长的光强分布。通过对分布进行波形分析,得到与目标的距离。
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指数