测量系统的类型
1D激光位移传感器
三角测量法
如下图所示,一束激光照射到目标上,从目标上反射回来的光通过接收透镜聚集到光接收元件上。如果传感器到目标的距离发生变化,则反射光的角度发生变化,导致接收光在光接收元件上的位置发生变化。这种变化与目标的移动量成正比,因为我们知道光接收元件上每个位置之间的距离,我们能够确定位移。
共焦方法
激光通过连接在振荡调谐叉上的一对透镜发射和接收。当接收光的强度大于设定的阈值时,测量调谐叉的位置,因为该位置与传感器的特定距离有关,因此可以计算位移。
- (1)
- 接收到的少量光
- (2)
- 接收光量大
- 一个
- 半导体激光器
- B
- 针孔
- C
- 光接收元件
- D
- 音叉
- E
- 传感器
光谱干涉法
- 道防线
- SLD向目标发射光谱光。在传感器头部内,有一个半透明的镜子,它将这些光的一部分反射回传感器,创建一个参考表面,同时允许其余的光通过并从目标表面反射回传感器。
- 干涉光
- 两束反射光相互干扰。干涉的强度取决于参考曲面与目标之间的距离。
- 光谱分析
- 用分光镜将干涉光分割成不同的波长,产生特定波长的光强分布。通过对分布进行波形分析,得到与目标的距离。