测量系统的类型

三维干涉测量传感器

高精度的测量是通过白光干涉测量获得的

从光源发出的光被分束器一分为二。一束反射到目标上,另一束反射到参考镜上。然后两束光以干涉光波的形式照射到光接收元件上。当它们的光路长度重合时,这些干涉光波提供了最高水平的干涉。光学单元包含所有光学组件,上下移动以获得对比图像。对于这些图像中的每个测量点,设备读取光单元在最高干涉水平的位置。然后,这些信息被用来确定到目标的距离。

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