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使用Keyence的光谱干扰位移传感器,可以通过纳米级分辨率测量绝对距离。有时被称为光谱干涉仪,这些专业传感器用于准确测量各种行业的距离,位置和厚度。
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引入世界上第一个微型头,其班级的测量准确性最高,并且以前认为不可能的表现水平。
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光谱干扰方法可实现1 nm分辨率。
该阵容包括超小型,远程和其他专业头部,以匹配各种应用程序。
随着近红外SLD的采用,即使将BG胶带固定在晶状体上,也可能仅对晶片进行厚度测量。即使晶圆表面上有强大的基于模式的变化,也可能进行准确的在线测量。