同轴照明

光学照明技术 - 同轴照明

通常，使用环照明查看具有平坦表面的高度反射对象，例如IC和横截面样品。当光线撞到表面时，大部分将远离镜头并产生黑暗图像。取而代之的是，使用同轴（Brightfield）照明来查看这些目标并产生明亮的图像。通常，这种类型的照明利用半摩尔来匹配照明和镜头的光轴。