白光干涉仪
当光从目标物体表面到某一点的距离不同时，就会发生光干涉;的白光干涉仪利用这种现象来测量样品的表面粗糙度。右图是干涉仪的结构图。从光源发出的光被分成参考光束和测量光束。当参考光束通过分束器通过参考镜时，测量光束被反射并引导到样品表面。通过的光束通过参考镜反射到CCD图像传感器上，形成干涉图样。另一束被样品表面反射，通过分束器，通过CCD图像传感器形成图像。
白光干涉仪的设计使CCD元件到参考镜的光程长度与CCD元件到样品表面的光程长度相同。样品表面的粗糙导致这些路径长度不相等，从而导致在CCD元件上形成干涉图样。干涉图中的线数转换为样品表面的波峰和波谷(高度)。
| 优势 |
缺点 |
- -能够测量宽视场。
亚纳米范围的测量是可能的。
- -快速测量
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- -无或有限的角特性
- -限制在某些对象上使用
白光干涉仪只能在反射良好的情况下进行测量。在那里，它不支持各种各样的对象的测量功能。
当从参考镜反射的光与从测量区域反射的光之间存在显著差异时，也可能无法进行测量。(白光干涉仪可以很好地处理镜面，但不能测量尖刺或凹凸不平的样品或非反射部分。
- -需要倾斜校正
在测量之前，必须使用测角仪进行样品倾斜校正。倾斜的样品会导致密集间隔的干涉图，从而影响测量精度。一些白光干涉测量系统配备了一个倾斜机构，可以自动校正样品的倾斜。
- -低分辨率的XY级测量
XY级测量的分辨率较低，因为采样数据集较少(约30万)。一些白光干涉测量系统可以扩展到使用大约98万数据集。
- -对振动敏感
由于设备对振动的高灵敏度，安装地点受到限制。安装防震台是必要的。
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