3D激光扫描显微镜
3D激光扫描显微镜是观察/测量设备，可以同时进行3D测量和深度焦深观察。它对样品的大小或材料没有限制，并允许在正常环境条件下观察。此外，3D激光扫描显微镜具有类似于光学显微镜的用户友好的可操作性;样品在测量之前不需要预处理。观察可以用颜色进行，这有助于准确地分析目标对象的条件。3D激光扫描显微镜也可用于测量薄膜的厚度，以及观察半透明物体的表面，内部和背面。
虽然3D激光扫描显微镜在可操作性方面优于扫描电子显微镜或原子力显微镜，但它在观察放大率和测量分辨率下较差。不能测量或观察具有具有大角度的高纵横比和斜率的底部，因为它们不反映激光束。
| 好处 | 缺点 |
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