3 d表面分析器VK-X3000系列

现在配备了白光干涉术,测量从纳米到毫米

三扫描方法-超越传统的光学轮廓仪

  • 测量目标范围从纳米到微米到毫米
  • 一体式测量系统,深入分析

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VK-X3000系列-三维曲面轮廓仪

VK-X3000三维曲面轮廓仪采用三扫描方式,采用激光共聚焦扫描、变焦和白光干涉测量方法,可以对任何目标进行高精度测量和分析。VK-X3000的分辨率为0.01 nm,可以扫描高达50 x 50 mm(1.97“x 1.97”)的区域,允许测量目标的整体形状,同时仍然保持高分辨率,以分析细微的表面特征。KEYENCE的新3D表面轮廓仪可以处理任何目标,包括那些透明或镜像表面,大的高度变化,或陡峭的角度。

特性

光学性能分析基础知识

观察

广泛的放大范围,从光学显微镜到电子显微镜

  • 放大倍数达28,800倍
  • 自动聚焦
  • 观察任何材料

测量

瞬间,非接触面扫描

  • 没有目标的伤害
  • 精确测量微小
  • 与任何形状或材料兼容

分析

前所未有的表面特征

  • 量化甚至最详细的形状
  • 区分表面容易
  • 粗糙度分析

不受材料和形状影响的精确扫描

白光干涉术/激光共焦/焦点变化

  • 精确测量陡峭的斜坡和角度表面
  • 最佳的XY分辨率确保即使是最小的功能被捕获
  • 在透明或高反射表面上没有数据丢失

高分辨率彩色观测捕捉真实的图像

  • 材料的纹理、形状和其他表面条件都清晰地显示出来
  • 彩色图像使立即确定测量位置成为可能
  • 高达28,800x的高倍成像提供了额外的分析能力

292不同的测量工具允许卓越的表面分析

一个系统可以进行从轮廓测量到粗糙度表征的各种分析。

测量平整和不平整的表面

毫米,微米和纳米测量在一个设备。