光谱干扰移位传感器

使用Keyence的光谱干扰位移传感器，可以通过纳米级分辨率测量绝对距离。有时被称为光谱干涉仪，这些专业传感器用于准确测量各种行业的距离，位置和厚度。

包括终止的系列

排队

微头光谱干扰激光位移Si-F系列

引入世界上第一个微型头，其班级的测量准确性最高，并且以前认为不可能的表现水平。

特征

超高分辨率1NM

光谱干扰方法可实现1 nm分辨率。

扩大可能测量范围的头部变化

该阵容包括超小型，远程和其他专业头部，以匹配各种应用程序。

光谱干预晶圆厚度表Si-F80r系列

随着近红外SLD的采用，即使将BG胶带固定在晶状体上，也可能仅对晶片进行厚度测量。即使晶圆表面上有强大的基于模式的变化，也可能进行准确的在线测量。