测量系统的类型

该站点解释了各种测量系统的原理和特征，这些系统可以实现高度准确的测量，包括1D和2D激光位移传感器以及3D干扰测量传感器。此外，该站点解释了使用各种扫描方法，膜厚度计，涡流位移传感器，超声位移传感器和接触型位移传感器的Thrubeam光学微米。