旋转涂布

旋涂机概述

旋转涂布机是利用旋转离心力进行涂布的设备。旋转涂布机可以在平坦光滑的目标上涂布薄而均匀的涂层。这些器件应用广泛，包括表面处理和半导体晶圆上的抗蚀涂层，光学介质上的涂层，以及透镜上的底漆或光致变色溶液。

用旋转涂布机涂布

涂层流体被滴在目标的中心，舞台开始旋转。当旋转加速时，对涂覆流体施加离心力，使流体散布在整个表面，形成涂覆膜。薄膜的厚度取决于流体的粘度、目标的转速、转速启动加速度和通风，这些都影响干燥速度。

旋转镀膜机的缺点之一是由于旋转的离心力使过多的流体分散到目标之外而造成材料的损失。

典型的旋转涂布机具有封闭式的旋转和滴布机构，或在涂布过程中有一个封闭的盖子，目的是通过通风控制干燥速度，防止在设备外扩散，同时防止外来颗粒进入。

虽然设备的基本原理几十年来没有改变，但旋涂机具有各种规格和功能。这包括各种目标尺寸、重量和材料，以及手动或自动控制转速，或自动滴液的能力。

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