宽区域3D测量系统头VR-3200

模型

VR-3200

类型

头

适用的控制器

VR-3000K

视野

广场模式

放大倍数
15“监视器12倍

水平的

24.0毫米0.94“

垂直的

18.0毫米0.71“

放大倍数
15“监视器25倍

水平的

12.0毫米0.47“

垂直的

9.0毫米0.35“

放大倍数
15“监视器38X

水平的

8.0毫米0.31“

垂直的

6.0毫米0.24“

放大倍数
15“监视器50x

水平的

垂直的

4.5毫米0.18“

高放大模式

放大倍数
15“监视器40倍

水平的

7.6毫米0.30“

垂直的

5.7毫米0.22“

放大倍数
15“监视器80x

水平的

3.8毫米0.15“

垂直的

2.9毫米0.11“

放大倍数
15“监视器120倍

水平的

2.5毫米0.10”

垂直的

1.9毫米0.07“

放大倍数
15“监视器160X

水平的

垂直的

1.4毫米0.06“

飞涨

1倍至4倍

可测量的高度

广场模式：10毫米0.39“（±5毫米±0.20“）高放大模式：1毫米0.04“（±0.5毫米±0.02“）^*1

显示分辨率

0.1 µm^*2

可重复性（σ）

高度测量

0.5 µm^*3

宽度测量

广场模式：1 µm，高放大模式：0.5 µm^*3

测量
准确性

高度测量

±3 µm^*3

宽度测量

广场模式：±5 µm，高放大模式：±2 µm^*3

缝合功能

完全自动（XY舞台自动控制 +自动焦点）测量^*4
自动调整，自动模板分析^*4

阶段

XY中风

184×88毫米7.24“ x 3.46”（机动）

Ztoke

90毫米3.54“（电的）

回转

±180°（样品旋转阶段）

倾斜

±30°或更多

工作距离

75毫米2.95“

图像接收元素

4百万像素单色CMO

发射机镜头

双重远程镜头x2

接收器镜头

双重遥控镜头

光源

观察光源

LED环灯（红色，绿色，蓝色）

测量光源

白领导

图片大小

1024 x 768像素，2048 x 1536像素

数据处理

由Keyence指定的专用PC（OS：Windows 7）^*5

评分

电压

100至240 VAC±10％，50/60 Hz

能量消耗

150 VA

环境阻力

环境温度

+15至+30°C59至86°F

相对湿度

35％至80％RH（无凝结）

重量

28.0公斤