广域3D测量系统控制器VR-5000

模型

VR-5000

类型

控制器

光源

观察光源

LED环灯（红色，蓝色，绿色）

测量光源

白领导

头

VR-5200，VR-5100

视野

低放大率（广泛的视野）

15英寸监视器的放大倍率12×

水平的

24.0毫米0.94“

垂直的

18.0毫米0.71“

15英寸监视器的放大倍率25×

水平的

12.0毫米0.47“

垂直的

9.0毫米0.35“

15英寸监视器38×的放大倍率

水平的

8.0毫米0.31“

垂直的

6.0毫米0.24“

15英寸监视器的放大倍率50×

水平的

垂直的

4.5毫米0.18“

高放大率（高分辨率）

15英寸监视器40×上的放大倍率

水平的

7.6毫米0.30“

垂直的

5.7毫米0.22“

15英寸监视器80×上的放大倍率

水平的

3.8毫米0.15“

垂直的

2.9毫米0.11“

15英寸监视器120×的放大倍率

水平的

2.5毫米0.10”

垂直的

1.9毫米0.07“

15英寸监视器160×的放大倍率

水平的

垂直的

1.4毫米0.06“

飞涨

1×至4×

高度测量

显示分辨率

0.1 µm

高度测量值

没有Z缝合

低放大率（广阔视野）：10毫米0.39“
高放大倍数（高分辨率）：1毫米0.04“

用z缝合

低放大率（广阔视野）：50毫米1.97“
高放大率（高分辨率）：30毫米1.18“

可重复性（σ）

没有Z缝合

0.4 µm^*1

用z缝合

1.0 µm^*1

测量精度

没有Z缝合

±2.5 µm^*1

用z缝合

±4.0 µm^*1

宽度测量

可重复性（σ）

低放大倍数（广泛的视野）：1 µm
高放大倍数（高分辨率）：0.5 µm
^*1

测量精度

低放大率（广泛的视野）：±5 µm
高放大倍数（高分辨率）：±2 µm
^*1

缝合功能

VR-5200：完全自动测量（XY自动控制 + Z自动控制），自动映射创建，自动区域设置
VR-5100：手动测量（XY手动操作 + Z自动控制）
^*2

XY可测量范围

VR-5200：206 x 104毫米8.11“ x 4.09”
VR-5100：92 x 86毫米3.62“ x 3.39”
^*2

阶段

XY中风

VR-5200：184 x 88毫米7.24“ x 3.46”（机动）
VR-5100：70 x 70毫米2.76“ x 2.76”（手动的）

Ztoke

73毫米2.87“（机动）

承载量

4.5公斤

工作距离

75毫米2.95“

图像接收元素

4百万像素单色CMO

发射机镜头

双telecentric镜头x 2

接收器镜头

双重镜头

数据处理

由Keyence指定的专用PC（OS：Windows 10 Pro）

电源供应

电压

100至240 VAC，50/60 Hz

能量消耗

200 va max。

环境阻力

环境温度

+15至30°C59至86°F

相对湿度

20％至80％RH（无凝结）

重量

大约4公斤