三维光学表面光度仪
vr - 6000系列
三维光学轮廓仪头(全自动模型)vr - 6200
规范
模型 |
vr - 6200 |
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类型 |
头 |
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控制器 |
vr - 6000 |
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的视野 |
低放大倍率(宽视场) |
在15英寸显示器上放大12倍 |
水平 |
24.0毫米0.94” |
垂直 |
18.0毫米0.71” |
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在15英寸显示器上放大25倍 |
水平 |
12.0毫米0.47” |
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垂直 |
9.0毫米0.35” |
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在15英寸显示器上放大38倍 |
水平 |
8.0毫米0.31” |
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垂直 |
6.0毫米0.24” |
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在15英寸显示器上放大50倍 |
水平 |
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垂直 |
4.5毫米0.18” |
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高倍率(高分辨率) |
在15英寸显示器上放大40倍 |
水平 |
7.6毫米0.30” |
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垂直 |
5.7毫米0.22” |
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在15英寸显示器上放大80倍 |
水平 |
3.8毫米0.15” |
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垂直 |
2.9毫米0.11” |
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在15英寸显示器上放大120× |
水平 |
2.5毫米0.10” |
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垂直 |
1.9毫米0.07” |
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在15英寸显示器上放大160× |
水平 |
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垂直 |
1.4毫米0.06” |
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变焦 |
1×4× |
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高程测量 |
显示分辨率 |
0.1μm |
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高度测量范围 |
没有Z缝合 |
低放大倍率(宽视场):10毫米0.39” |
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与Z缝合 |
低放大倍率(宽视场):50毫米1.97” |
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重复性(σ) |
没有Z缝合 |
0.4μm*1 |
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与Z缝合 |
1.0μm*1 |
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测量精度 |
没有Z缝合 |
±2.5μm*1 |
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与Z缝合 |
±4.0μm*1 |
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宽度测量 |
重复性(σ) |
低放大倍率(宽视场):1 μm |
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测量精度 |
低倍率(宽视场):±5 μm |
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缝线功能 |
全自动测量(XY自动控制+ Z自动控制,θ自动控制),自动绘制地图,自动设定面积*2 |
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缝线功能 |
电动旋转单元 |
支持*2 |
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XY可衡量的范围 |
300 × 150毫米11.81“×5.91”*2 |
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阶段 |
XY中风 |
278 × 134毫米10.94“×5.28”(电动) |
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Z中风 |
69毫米2.72”(电动) |
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负载能力 |
4.5公斤9.92磅 |
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工作距离 |
75毫米2.95” |
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图像接收元素 |
400万像素的单色CMOS |
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发射机的镜头 |
双远心镜头× 2 |
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接收机的镜头 |
Double-telecentric镜头 |
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光源 |
观察光源 |
LED环形灯(红、蓝、绿) |
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测量光源 |
白光LED |
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数据处理 |
KEYENCE指定专用PC(操作系统:Windows 10 Pro) |
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电力供应 |
电源电压 |
100至240 VAC±10%,50/60 Hz |
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电力消耗 |
200 VA马克斯。 |
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环境阻力 |
环境温度 |
+ 15到30°C+ 59到86°F |
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相对湿度 |
20 ~ 80% RH(无凝露) |
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重量 |
约28公斤61.73磅*3 |
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*1使用KEYENCE指定的标准量规,在KEYENCE指定的测量模式下(环境温度:23±1℃)测量得到的值73.4±1.8°F) |