测量头im - 7030

模型

im - 7030

类型

头
宽舞台模型，结合可编程环形照明/光探头单元

图像传感器

1英寸660万像素的单色CMOS

显示

10.4寸液晶显示器(XGA: 1024 × 768)

接收机的镜头

双远心镜头

图像测量

的视野

宽视场测量方式:300 mm × 200 mm11.81“×7.87”(4×R50)
高精度测量方式:225 × 125 mm8.86“×4.92”

最小显示装置

0.1µm

可重复性

W / o阶段运动

宽视场测量方式:±1µm
高精度测量方式:±0.5µm

阶段活动

宽视场测量方式:±2 μ m
高精度测量方式:±1.5µm

测量精度(±2σ)

W / o绑定

宽视场测量方式:±5 μ m^＊1
高精度测量方式:±2µm^＊2

与绑定

宽场测量方式:±(7 + 0.02 L) μ m^＊3
高精度测量模式:±(4 + 0.02 L)µm^＊4

光探针测量

可测量的区域(XY)

190 × 90mm7.48“×3.54”

最大测量深度

30毫米1.18”

光探针直径

ø3毫米

测量力

0.015 N

可重复性

±2µm^＊5

测量精度

±(8 + 0.02 L) μ m^{* 6}

接口

局域网

注册插孔- 45 (10 base - t / 100 base-tx / 1000 base - t)

USB 3.1

4个接口(后端:4个)

USB 2.0系列A

2个接口(前端:2个)

外部远程输入

无电压输入(有触点和无触点)

外部输出

OK / NG /失败/量。

PhotoMos输出
额定负载24vdc 0.5 A
开电阻50 mΩ或更低

记录

硬盘驱动器

500 GB

照明系统

透明的

远心的透明的照明

环

四格、多角度照明(电动)
缝隙环(方向性)照明(电)

XY阶段

移动范围

200 × 100mm7.87“×3.94”(电动)

承受载荷

7.5公斤

Z阶段

移动范围

75毫米2.95”(电动)

电力供应

电源电压

100-240 VAC, 50/60 Hz

电力消耗

430va或以下

环境阻力

环境温度

+ 10°C到35°C+ 50°F到95°F

相对湿度

20% RH ~ 80% RH(无凝露)

重量

约33公斤