共聚焦位移传感器

cl - 3000系列

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光学单元(15毫米·四边形·出口管制产品)欧宝官网开户CL-L015G

规范

模型

CL-L015G* 1

类型

光学单元

CL-L015* 1

参考距离

15毫米0.59”

参考测量范围

测量范围

±1.3毫米±0.05”

线性

±0.36µm±0.000014”* 2

高精度测量范围

测量范围

±0.5毫米±0.02”

线性

±0.28µm±0.000011”* 2

决议

0.003µm* 3

光斑直径

ø 300 μ mø 0.0118”

激光类

光学单元

类1

采样周期

100/200/500/1000µs(可调4级)

环境阻力

外壳评级

IP67 (IEC60529)

环境光

目标表面照度30000勒克斯(白炽灯)

环境温度

0至50°C32到122华氏度

相对湿度

20% RH ~ 85% RH(无凝露)

抗振性

10至57赫兹,双幅1.5毫米0.06”;X、Y、Z轴各2小时

光学单元

10至57赫兹,双幅0.3毫米0.01”;X、Y、Z轴各2小时

耐冲击性

15 G 6 ms

温度特性

0.005% F.S./°C

光学单元

0.015% F.S./°C

材料

前:SUS后:铝

光学单元

聚碳酸酯

重量

约180克

光学单元

约1600克

* 1传感器头和光学单元是一对匹配的。不交叉兼容。
* 2用KEYENCE参考工件(镜像面)在位移模式下测量的值。
* 3使用KEYENCE参考工件(镜像表面)16,384个平均循环测量值。

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