自由角度观测系统(XYZ机动)VHX-S650E

VHX-S650E -自由角度观测系统(XYZ机动)

  • CE标志
  • CSA

规范

模型

VHX-S650E

XYθ阶段

XY阶段:电动/手动

机动化的

纵横移动载物台运动范围

±20毫米±0.79”

旋转θ角

°±90

XYθ舞台的大小

顶面:171 × 168毫米6.73“×6.61”(中心盘:ø100ø3.94”

传播照明

提供

Z阶段

Z阶段:电动/手动

机动化的

Z-motorized阶段电动机

研究步进电机

z型电动舞台行走速度

17毫米0.67”/秒(max)

Z-stage运动范围

49毫米1.93”

负载能力

5公斤

XYθ阶段

XY-motorized阶段电动机

二步进电机

XY-motorized阶段解决

1µm (typ)。

xy机动舞台移动速度

10毫米0.39”/秒(max)。

Z阶段

Z-motorized阶段解决

0.1µm (typ。)

电力供应

电源电压

100到240 VAC, 50/60 Hz

电力消耗

弗吉尼亚州60

环境阻力

环境温度

+5 ~ +40°C41至104华氏度

相对湿度

35 ~ 80% RH(无凝露)

重量

大约18公斤

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