控制器VK-X1000

模型

VK-X1000

类型

控制器

总放大倍数

最多28,800 x^*1

视场（最小范围）

11 µm至7,398 µm

帧速率（激光测量速度）

4至125 Hz，7,900 Hz^*2

测量原理

光学系统

针孔共聚焦光学系统，焦点变化

录取元素

16位光电倍增器：高清颜色CMO

扫描方法（在一般测量和图像缝合过程中）

自动上限/下限设置，高速光强度优化（AAGII），反射较差的光强度补充（双扫描）

高度测量

显示屏分辨率

0.5 nm（VK-X1100），5 nm（VK-X1050）

线性尺度

动态范围

16位

可重复性σ

激光共聚焦

20 x：40 nm，50 x：12 nm（VK-x1100）
20 x：40 nm，50 x：20 nm（VK-x1050）

焦点变化

5 x：500 nm，10 x：100 nm，20 x：50 nm，50 x：20 nm（vk-x1100）
5 x：500 nm，10 x：100 nm，20 x：50 nm，50 x：30 nm（vk-x1050）

高度数据采集范围

700,000步

准确性

0.2 + L /100 µm或更少（L =测量长度）^*3

宽度测量

显示屏分辨率

1 nm（VK-X1100），10 nm（VK-X1050）

重复性3σ

激光共聚焦

20 x：100 nm，50 x：40 nm（VK-x1100）
20 x：100 nm，50 x：50 nm（VK-x1050）

焦点变化

5 x：400 nm，10 x：400 nm，20 x：120 nm，50 x：50 nm（vk-x1100）
5 x：400 nm，10 x：400 nm，20 x：120 nm，50 x：65 nm（vk-x1050）

准确性

测量值±2％或更少^*3

XY阶段配置

手册：操作范围

70毫米x 70毫米2.76“ x 2.76”

机动：运营范围

100毫米x 100毫米3.94“ x 3.94”

观察

观察图像

高分辨率颜色CMOS图像16位激光颜色共聚焦图像共聚焦 + ND滤波器光学系统C激光差异干扰图像

灯光

戒指照明，同轴照明

测量激光光源

波长

紫罗兰色半导体激光器，404 nm（VK-X1100）
红色半导体激光器，661 nm（VK-X1050）

最大输出

1兆瓦

激光课

2类激光产品（IEC60825-1，FDA（CDRH）部分1040.10^*4）

电源

电压

100至240 VAC，50/60 Hz

能量消耗

150 VA

重量

大约3.0公斤