3D激光扫描共聚焦显微镜

VK-X系列

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形状测量激光显微镜VK-X100K.

VK-X100K  - 形状测量激光显微镜

  • CE标记
  • CSA.

规格

模型

VK-X100K.

类型

控制器

客观镜头放大倍数

在15“监视器100x上的放大倍数

-

在15“监视器上的放大倍数

15“监视器400x上的放大倍数

放大倍数为15“监视器1000x

倍率为15“监视器2000x

15“监视器3000x的放大倍数

观察/
测量范围

水平(h):μm米尔

在15“监视器100x上的放大倍数

在15“监视器上的放大倍数

15“监视器400x上的放大倍数

放大倍数为15“监视器1000x

倍率为15“监视器2000x

15“监视器3000x的放大倍数

垂直(v):μm米尔

在15“监视器100x上的放大倍数

在15“监视器上的放大倍数

15“监视器400x上的放大倍数

放大倍数为15“监视器1000x

倍率为15“监视器2000x

15“监视器3000x的放大倍数

工作距离:mm英寸

在15“监视器100x上的放大倍数

在15“监视器上的放大倍数

15“监视器400x上的放大倍数

放大倍数为15“监视器1000x

倍率为15“监视器2000x

15“监视器3000x的放大倍数

数值孔径(N.A.)

在15“监视器100x上的放大倍数

在15“监视器上的放大倍数

15“监视器400x上的放大倍数

放大倍数为15“监视器1000x

倍率为15“监视器2000x

15“监视器3000x的放大倍数

光学变焦

1x到8倍

总放大率

100x到8000x.

用于观察/测量的光学系统

针孔共焦光学系统

高度测量

测量范围

7毫米0.28“

显示分辨率

0.005μm.

重复性σ.

0.02微米* 1

宽度测量

显示分辨率

0.01微米

重复性3σ.

0.05μm.* 2

帧存储器

像素计数

2048 x 1536,1024 x 768,1024 x 64

对于单色镜像

16位

用于彩色镜像

每个RGB都有8位

用于高度测量

21位

帧率

表面扫描

4 Hz到120 Hz

线扫描

7900 Hz.

自动功能

AAG(自动增益),自动对焦,自动上/下限设置,双扫描亮度设置

测量激光光源

波长

红色半导体激光器,658 nm

最大输出

0.95兆瓦

激光类

2类激光产品(IEC 60825-1,FDA(CDRH)PAST1040.10* 3.的)

激光接收元件

PMT(光电子倍增管)

光源
光学观察

100 W卤素灯

彩色相机
光学观察

成像元素

1/3“彩色CCD图像传感器

录制分辨率

超高分辨率(3072×2304)

自动调整

收益,快门速度

数据处理单元

用VK-X的Keyence提供的专用PC(OS:Windows 7专业版)* 4.

评分

电源电压

100至240 VAC±10%,50/60 Hz

能量消耗

450 va max。

重量

约。11千克

* 1当用50倍物镜测量2μm的标准高度差时。
* 2当用线峰模式(光学变焦2x)测量1μm的keyence参考图表宽度时(光学变焦2x)(图像平均:8次)。
* 3.FDA(CDRH)的激光分类是根据IEC60825-1实施的,根据激光通知50号的要求实现。
* 4.Windows 7是Microsoft,U.S.A.的注册商标。

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