测量单元VK-X130K

模型

VK-X130K

总放大

至19200×^{* 1}

视场(最小范围)

16 μ m ~ 5400 μ m

帧率

激光测量速度

4 ~ 120hz, 7900hz^{* 2}

测量原理

光学系统

针孔共焦光学系统

光接收元件

16位光电倍增管

扫描方法(一般测量和图像拼接时)

自动上下限设定，高速光强优化(AAGII)，
反射光强度不足(双扫描)

高程测量

显示分辨率

5海里

线性范围内

动态范围

16位

可重复性σ

20× 40 nm, 50× 20 nm，
100× 20 nm^{* 3}

用于z轴测量的内存

140万步

精度

0.2+L/100µm或更小(L=测量长度)^{* 3}

Z级结构

结构

底座有独立的测量头

最大样本高度

28毫米1.102”， 128毫米5.039”(选项)

宽度测量

显示分辨率

10纳米

可重复性3σ

20× 100 nm, 50× 50 nm，
100× 30 nm^{* 3}

精度

±2%^{* 3}

XY级结构

手动:操作范围

70 mm×70 mm2.76" × 2.76"

摩托化:工作范围

50毫米× 50毫米1.97英寸× 1.97英寸100毫米× 100毫米3.94" × 3.94"^{* 4}

观察

观察图像

超高分辨率彩色CCD图像
16位激光彩色共聚焦图像
共焦+ ND滤波光学系统
c激光差分干涉图像

最大捕获分辨率

3072×2304

测量激光光源

波长

红色半导体激光器，658 nm

最大输出

0.95兆瓦

激光类

2类激光产品(IEC60825-1)

重量

显微镜装置

约25公斤(传感器头分离:约。8.5公斤)

控制器

约11公斤