控制器VK-X150K

VK-X150K-控制器

规格

模型		VK-X150K
总放大倍数		最多19200×^*1
视场（最小范围）		16 µm至5400 µm
帧速率	激光测量速度	4至120 Hz，7900 Hz^*2
测量原则	光学系统	针孔共聚焦光学系统
	光接收元件	16位光电倍增器
	扫描方法（在一般测量和图像缝合过程中）	自动上限/下限设置，高速光强度优化（AAGII），反射不良的光强度补充剂（双扫描）
高度测量	显示屏分辨率	5 nm
	线性尺度
	动态范围	16位
	可重复性σ	20×40 nm，50×20 nm， 100×20 nm^*3
	Z轴测量的记忆	140万步
	准确性	0.2+L/100 µm或更少（L =测量长度）^*3
Z阶段配置	结构	底座带有单独的测量头
	最大样品高度	28毫米1.102“，128毫米5.039“（选项）
宽度测量	显示屏分辨率	10 nm
	重复性3σ	20×100 nm，50×50 nm， 100×30 nm^*3
	准确性	±2％^*3
XY阶段配置	手册：操作范围	70毫米×70毫米2.76“×2.76”
	机动：运营范围	50毫米×50毫米1.97“×1.97”100毫米×100毫米3.94“×3.94”^*4
观察	观察图像	超高分辨率颜色CCD图像 16位激光颜色共聚焦图像共聚焦 + ND滤波器光学系统 C激光差异干扰图像
	最大捕获分辨率	3072×2304
测量激光光源	波长	红色半导体激光器，658 nm
	最大输出	0.95兆瓦
	激光课	2类激光产品（IEC60825-1）
重量	显微镜单元	大约25公斤（传感器头脱离：约8.5千克）
	控制器	大约11公斤
^1用于23英寸的显示器。 ^2使用测量模式/测量质量/镜头放大率的组合时，以最高速度。当线扫描的测量螺距在0.1 µm以内。 ^3当测量具有20倍或更高镜头的标准样品（标准尺度）时，在20±2°C的环境温度下68±3.6°F。但是，不适用于具有100×镜头的VK-X120/130。 ^4当安装电动阶段时。

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