控制器VK-X250K

模型

VK-X250K

总放大

高达28000×^{* 1}

视野(最小范围)

11 μ m至5400 μ m

帧率

激光测量速度

4 ~ 120hz, 7900hz^＊2

测量原理

光学系统

针孔共聚焦光学系统

光接收元件

16位光电倍增管

扫描方式(一般测量和图像拼接时)

自动上下限设定，高速光强优化(AAGII)，
低反射光强补品(双扫描)

高程测量

显示分辨率

0.5纳米

线性范围内

动态范围

16位

可重复性σ

20× 40 nm, 50× 12 nm，
150× 12 nm^＊3

z轴测量内存

1400万步

精度

0.2+L/100µm或更小(L=测量长度)^＊3

Z级结构

结构

底座与独立的测量头

最大样本高度

28毫米1.102”， 128毫米5.039”(选项)

宽度测量

显示分辨率

1海里

可重复性3σ

20× 100 nm, 50× 40 nm，
150× 20 nm^＊3

精度

±2%^＊3

XY级结构

手动:工作范围

70 mm×70 mm2.76" × 2.76"

机动化:操作范围

50毫米× 50毫米1.97英寸× 1.97英寸100毫米× 100毫米3.94" × 3.94"^＊4

观察

观察图像

超高分辨率彩色CCD图像
16位激光彩色共焦图像
共焦+ ND滤光光学系统
c激光差分干涉成像

最大捕获分辨率

3072×2304

测量激光光源

波长

紫色激光，408纳米

最大输出

0.95兆瓦

激光类

2类激光产品(IEC60825-1)

重量

显微镜装置

约26公斤(传感器头分离:约。10公斤)

控制器

大约11公斤