测量单元VK-X260K

模型

VK-X260K

总放大

28000×^＊1

视场(最小距离)

11 ~ 5400 μ m

帧率

激光测量速度

4 ~ 120hz, 7900hz^＊2

测量原理

光学系统

针孔共焦光学系统

光接收元件

16位光电倍增管

扫描方法(一般测量和图像拼接时)

自动上下限设定，高速光强优化(AAGII)，
反射光强差(双扫描)

高程测量

显示分辨率

0.5纳米

线性范围内

动态范围

16位

可重复性σ

20× 40nm, 50× 12nm，
150×12海里^{* 3}

z轴测量内存

1400万步

精度

0.2±L/100µm (L=测量长度)^{* 3}

Z阶段配置

结构

底座与单独的测量头

最大样本高度

28毫米1.102”, 128毫米5.039”(选项)

宽度测量

显示分辨率

1海里

可重复性3σ

20× 100nm, 50× 40nm，
150×20海里^{* 3}

精度

±2%^{* 3}

XY阶段配置

手动:工作范围

70毫米×70毫米2.76“×2.76”

机动:工作范围

50mm × 50mm1.97“×1.97”100mm × 100mm3.94“×3.94”^{* 4}

观察

观察图像

超高分辨率彩色CCD图像
16位激光彩色共焦图像
共焦+ ND滤光系统
c激光差分干涉图像

最大捕获分辨率

3072×2304

测量激光光源

波长

紫色激光，408 nm

最大输出

0.95兆瓦

激光类

二类激光产品(IEC60825-1)

重量

显微镜装置

约26公斤(传感器头分离:约。10公斤)

控制器

约11公斤