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广域三维测量系统头vr - 3200

VR-3200 -广域三维测量系统头

  • CE标志
  • CSA

规范

模型

vr - 3200

类型

适用的控制器

vr - 3000 k

视场

广角模式

放大一个
15“监测12 x

水平

24.0毫米0.94”

垂直

18.0毫米0.71”

放大一个
15“监控25 x

水平

12.0毫米0.47”

垂直

9.0毫米0.35”

放大一个
15“监测38 x

水平

8.0毫米0.31”

垂直

6.0毫米0.24”

放大一个
15“监控50 x

水平

垂直

4.5毫米0.18”

高放大模式

放大一个
15“监控40 x

水平

7.6毫米0.30”

垂直

5.7毫米0.22”

放大一个
15“监控80 x

水平

3.8毫米0.15”

垂直

2.9毫米0.11”

放大一个
15“监控120 x

水平

2.5毫米0.10”

垂直

1.9毫米0.07”

放大一个
15“监控160 x

水平

垂直

1.4毫米0.06”

变焦

1到4 x

可测量的高度

广角模式:10毫米0.39”(±5毫米±0.20”)高放大模式:1毫米0.04”(±0.5毫米±0.02”*1

显示分辨率

0.1µm*2

重复性(σ)

高程测量

0.5µm*3

宽度测量

宽视场模式:1µm,高倍放大模式:0.5µm*3

测量
精度

高程测量

±3µm*3

宽度测量

宽场模式:±5 μ m,高放大模式:±2 μ m*3

缝线功能

全自动(XY台自动控制+自动对焦)测量*4
自动调整,自动模板分析*4

阶段

XY中风

184 × 88毫米7.24”x 3.46”(电动)

Z中风

90毫米3.54”(电动)

旋转

±180°(样品旋转阶段)

倾斜

±30°或更多

工作距离

75毫米2.95”

图像接收元素

400万像素的单色CMOS

发射机的镜头

双远心透镜x2

接收机的镜头

双远心镜头

光源

观察光源

LED环形灯(红、绿、蓝)

测量光源

白光LED

图像大小

1024 x 768像素,2048 x 1536像素

数据处理

KEYENCE指定专用PC(操作系统:Windows 7)*5

评级

电源电压

100至240 VAC±10%,50/60 Hz

电力消耗

150年弗吉尼亚州

环境阻力

环境温度

+15 ~ +30°C59至86华氏度

相对湿度

35 ~ 80% RH(无凝露)

重量

28.0公斤

*1低量程±5mm0.20”高量程±0.5 mm±0.02”在焦点位置周围。
*2高程测量分辨率。
*3使用KEYENCE指定的标准量规,在KEYENCE指定的测量模式下(环境温度:23±1℃)测量得到的值73.4±1.8°F).
*4需要钉接模块(VR-H2J)。
*5Windows 7专业版和终极版。

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