广域三维测量系统
VR系列
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广域三维测量系统头vr - 3200
规范
模型 |
vr - 3200 |
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类型 |
头 |
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适用的控制器 |
vr - 3000 k |
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视场 |
广角模式 |
放大一个 |
水平 |
24.0毫米0.94” |
垂直 |
18.0毫米0.71” |
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放大一个 |
水平 |
12.0毫米0.47” |
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垂直 |
9.0毫米0.35” |
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放大一个 |
水平 |
8.0毫米0.31” |
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垂直 |
6.0毫米0.24” |
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放大一个 |
水平 |
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垂直 |
4.5毫米0.18” |
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高放大模式 |
放大一个 |
水平 |
7.6毫米0.30” |
|
垂直 |
5.7毫米0.22” |
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放大一个 |
水平 |
3.8毫米0.15” |
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垂直 |
2.9毫米0.11” |
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放大一个 |
水平 |
2.5毫米0.10” |
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垂直 |
1.9毫米0.07” |
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放大一个 |
水平 |
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垂直 |
1.4毫米0.06” |
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变焦 |
1到4 x |
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可测量的高度 |
广角模式:10毫米0.39”(±5毫米±0.20”)高放大模式:1毫米0.04”(±0.5毫米±0.02”)*1 |
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显示分辨率 |
0.1µm*2 |
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重复性(σ) |
高程测量 |
0.5µm*3 |
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宽度测量 |
宽视场模式:1µm,高倍放大模式:0.5µm*3 |
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测量 |
高程测量 |
±3µm*3 |
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宽度测量 |
宽场模式:±5 μ m,高放大模式:±2 μ m*3 |
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缝线功能 |
全自动(XY台自动控制+自动对焦)测量*4 |
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阶段 |
XY中风 |
184 × 88毫米7.24”x 3.46”(电动) |
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Z中风 |
90毫米3.54”(电动) |
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旋转 |
±180°(样品旋转阶段) |
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倾斜 |
±30°或更多 |
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工作距离 |
75毫米2.95” |
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图像接收元素 |
400万像素的单色CMOS |
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发射机的镜头 |
双远心透镜x2 |
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接收机的镜头 |
双远心镜头 |
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光源 |
观察光源 |
LED环形灯(红、绿、蓝) |
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测量光源 |
白光LED |
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图像大小 |
1024 x 768像素,2048 x 1536像素 |
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数据处理 |
KEYENCE指定专用PC(操作系统:Windows 7)*5 |
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评级 |
电源电压 |
100至240 VAC±10%,50/60 Hz |
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电力消耗 |
150年弗吉尼亚州 |
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环境阻力 |
环境温度 |
+15 ~ +30°C59至86华氏度 |
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相对湿度 |
35 ~ 80% RH(无凝露) |
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重量 |
28.0公斤 |
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*1低量程±5mm0.20”高量程±0.5 mm±0.02”在焦点位置周围。 |