传感器头标准类型WI-004

WI-004-传感器头标准类型

数据表（PDF）

手册

规格

模型		WI-004^1^2^*3
参考距离		18毫米0.71“
测量范围	z	1.4毫米0.06“（标准模式），0.7毫米0.03“（高速模式）
	xy	4×4毫米0.16“×0.16”
最小检测区		15×15 µm0.000591“×0.000591”
可重复性（高度差）		0.1 µm0.000004“^*4
线性（高度差）		±2.8 µm0.000110“（F.S.的±0.2％，F.S。= 1.4毫米0.06“， +20至 +30°C+68至 +86°F）^*5
测量光源	类型	红外SLD
	中心波长	830 nm
	激光类（IEC60825-1）	3r级
	输出	3.6兆瓦
指南光源	类型	红色半导体激光器
	波长	660 nm
	激光类（IEC60825-1）	1级
	输出	0.15兆瓦
采样频率	内部触发器	133毫秒（高速模式），266毫秒（标准模式）
	外部触发器	266 MS Max。（高速模式），最大532毫秒。（标准模式）^*6
环境阻力	环境光	白炽灯/荧光灯：5,000 Lux Max。
	环境温度	0至+35°C32至95°F
	相对湿度	20至85％RH（无凝结）
重量		大约3,000 g
^1FDA（CDRH）的激光分类根据IEC60825-1实施，根据激光通知号50的要求。第50号激光通知的要求（从头部参考平面到测量工件的距离）为1 µm（2）。 ^2当使用键入标准目标测量单个矩形区域的平均高度（3）时，这是±3σ值（自动维护模式关闭）。 ^3矩形尺寸为WI-001：0.3毫米×0.9毫米0.01“×0.04”，Wi-004：1.1 mm×3.7毫米0.04“×0.15”，WI-010：3毫米×9毫米0.12“×0.35”。 ^4这是σ值（自动维护模式已关闭，捕获时间是“优先级准确性”）当使用键入标准目标测量了两个矩形区域（3）的平均高度差30秒时。 ^5当使用键入标准目标测量两个矩形区域（3）的平均高度差（3）时，这是值（自动维护模式关闭，捕获时间是“优先确定精度”）。 ^*6捕获时停止时间的工件为120 ms（高速模式）或240毫秒（标准模式）。

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