三维干涉测量传感器
wi - 5000系列
传感器头宽视场模型wi - 010
规范
模型 |
wi - 010* 1* 2* 3 |
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参考距离 |
18毫米0.71” |
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测量范围 |
Z |
1.4毫米0.06”(标准模式),0.7毫米0.03”(高速模式) |
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XY |
10 × 10毫米0.39" × 0.39" |
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最小检测区域 |
40 × 40 μ m0.001575" × 0.001575" |
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重复性(高差) |
0.1µm0.000004”* 4 |
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线性度(高差) |
±2.8µm0.000110”(±0.2% F.S., F.S. = 1.4 mm0.06”, +20 ~ +30°C+68到+86°F)* 5 |
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测量光源 |
类型 |
红外SLD |
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中心波长 |
830海里 |
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激光等级(IEC60825-1) |
3 r类 |
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输出 |
3.6兆瓦 |
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导向光源 |
类型 |
红色半导体激光器 |
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波长 |
660海里 |
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激光等级(IEC60825-1) |
类1 |
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输出 |
0.15兆瓦 |
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采样频率 |
内部触发 |
133毫秒(高速模式),266毫秒(标准模式) |
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外部触发 |
最大266毫秒。(高速模式),最大532毫秒。(标准模式)* 6 |
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环境阻力 |
环境光 |
白炽灯/荧光灯:最高5000勒克斯。 |
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环境温度 |
0到+35°C32到95°F |
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相对湿度 |
20 ~ 85% RH(无凝露) |
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重量 |
约3000克 |
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* 1FDA的激光分类(CDRH)是基于IEC60825-1,根据激光公告第50号的要求实施的。高度(头部参考平面到测量工件的距离)的分辨率为1µm(*2)。 |