传感器头宽视场模型wi - 010

规范

模型

wi - 010* 1* 2* 3

参考距离

18毫米0.71”

测量范围

Z

1.4毫米0.06”(标准模式),0.7毫米0.03”(高速模式)

XY

10 × 10毫米0.39" × 0.39"

最小检测区域

40 × 40 μ m0.001575" × 0.001575"

重复性(高差)

0.1µm0.000004”* 4

线性度(高差)

±2.8µm0.000110”(±0.2% F.S., F.S. = 1.4 mm0.06”, +20 ~ +30°C+68到+86°F* 5

测量光源

类型

红外SLD

中心波长

830海里

激光等级(IEC60825-1)

3 r类

输出

3.6兆瓦

导向光源

类型

红色半导体激光器

波长

660海里

激光等级(IEC60825-1)

类1

输出

0.15兆瓦

采样频率

内部触发

133毫秒(高速模式),266毫秒(标准模式)

外部触发

最大266毫秒。(高速模式),最大532毫秒。(标准模式)* 6

环境阻力

环境光

白炽灯/荧光灯:最高5000勒克斯。

环境温度

0到+35°C32到95°F

相对湿度

20 ~ 85% RH(无凝露)

重量

约3000克

* 1FDA的激光分类(CDRH)是基于IEC60825-1,根据激光公告第50号的要求实施的。高度(头部参考平面到测量工件的距离)的分辨率为1µm(*2)。
* 2当使用KEYENCE标准目标测量单个矩形区域(*3)的平均高度30秒时,这是±3 σ值(自动维护模式关闭)。
* 3矩形尺寸为WI-001: 0.3 mm × 0.9 mm0.01" × 0.04", WI-004: 1.1 mm × 3.7 mm0.04" × 0.15", WI-010: 3 mm × 9 mm0.12" × 0.35"
* 4这是在使用KEYENCE标准目标测量两个矩形区域(*3)的平均高度差30秒后的σ值(自动维护模式为关闭,捕获时间为“优先级精度”)。
* 5这是使用KEYENCE标准目标测量两个矩形区域(*3)的平均高度差时的值(自动维护模式为关闭,捕获时间为“优先级精度”)。
* 6捕获时工件停止时间为120毫秒(高速模式)或240毫秒(标准模式)。

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