彩色三维激光扫描显微镜
VK-8700/9700 ii代系列
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电动XY台VK-S105
规范
模型 |
VK-S105 |
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运动的方向 |
X轴和Y轴 |
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中风 |
50×50毫米1.969英寸x 1.969英寸 |
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表的大小 |
100 x100毫米3.937" x 3.937" |
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指导方法 |
十字滚子导轨 |
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饲料的方法 |
精密螺杆、引脚:1mm |
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轴转换惯性 |
X轴:9.29 × 107公斤·米2, Y轴:9.62 × 107公斤·米2 |
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电动机 |
0.35 A/相,5相步进电机,5线五边形布线,保持力矩:0.017 N m,转子惯性4.2 g·cm2 |
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决议 |
1µm |
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定位精度 |
10µm |
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重复定位精度 |
±1µm |
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反弹 |
1µm |
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失去了运动 |
3µm |
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直觉(水平/垂直) |
5µm |
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并行性的 |
X: 10µm, Y: 10µm |
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XY一丝不苟 |
10µm |
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负载能力 |
3公斤 |
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主要材料/大纲 |
铝合金,黑色铝表面处理 |
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重量 |
2.5公斤 |