彩色3D激光扫描显微镜
VK-8700/9700 GenerationII系列
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机动XY阶段VK-S110
规范
模型 |
VK-S110 |
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运动的方向 |
X、Y轴 |
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中风 |
100 x100毫米3.937”x 3.937” |
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表的大小 |
140 x140毫米5.512”x 5.512” |
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指导方法 |
跨导辊装置 |
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饲料的方法 |
精密杆螺杆,导丝:1mm |
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轴惯性转换 |
X轴:9.29 × 10-7公斤·米2, Y轴:9.62 × 10-7公斤·米2 |
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电动机 |
0.35 A/相,五相步进电机,五线五边形接线,持转矩0.017 N m,转子惯性4.2 g·cm2 |
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决议 |
1µm |
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定位精度 |
10µm |
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重复定位精度 |
±1µm |
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反弹 |
1µm |
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失去了运动 |
3µm |
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直觉(水平/垂直) |
15µm |
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并行性的 |
X: 20µm, Y: 20µm |
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XY一丝不苟 |
15µm |
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负载能力 |
3公斤 |
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主要材料/大纲 |
铝合金,黑色铝石表面 |
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重量 |
3.7公斤 |