测量头:红色半导体激光器VK-X1050

模型

VK-X1050

类型

单位负责人

总放大

高达28,800 x^{* 1}

视野(最小范围)

11 μ m到7398 μ m

帧率(激光测量速度)

4 ~ 125 Hz, 7900 Hz^{* 2}

测量原理

光学系统

针孔共焦光学系统，变焦

光接收元件

16位光电倍增管:高清彩色CMOS

扫描方式(一般测量和图像拼接时)

自动上下限设定，高速光强优化(AAGII)，差反射光强补充(Double Scan)

高程测量

显示分辨率

5海里

线性范围内

动态范围

16位

可重复性σ

激光共焦

20 x: 40 nm, 50 x: 20 nm

焦点变化

5 × 500 nm、10 × 100 nm、20 × 50 nm、50 × 30 nm

高度数据采集范围

700000步

精度

0.2 + L /100µm以下(L =测量长度)^{* 3}

宽度测量

显示分辨率

10纳米

可重复性3σ

激光共焦

20 x: 100 nm, 50 x: 50 nm

焦点变化

5 × 400nm、10 × 400nm、20 × 120nm、50 × 65nm

精度

测量值±2%或以下^{* 3}

XY级结构

手动:工作范围

70毫米x70毫米2.76英寸x 2.76英寸

机动化:操作范围

100毫米× 100毫米3.94" x 3.94"

观察

观察图像

高分辨率彩色CMOS图像16位激光彩色共焦图像共焦+ ND滤波光学系统c激光差分干涉图像

照明

环形照明，同轴照明

测量激光光源

波长

红色半导体激光器，661纳米

最大输出

1兆瓦

激光类

2类激光产品(IEC60825-1, FDA (CDRH) Part 1040.10)^＊４）

电力供应

电源电压

100至240伏，50/60赫兹

电力消耗

150年弗吉尼亚州

重量

约13.0公斤