测量头VK-X3050

模型

VK-X3050

类型

测量头

总放大

42 - 28800×^＊1

的视野

11 ~ 7398 μm

测量原理

激光共聚焦，焦点变化，白光干涉测量，光谱干涉

激光波长

半导体激光器，661 nm

Max。激光测量速度

表面:125 Hz，线路:7900 Hz^＊2

Max。激光输出

0.9兆瓦

激光类

第2类(IEC60825-1, FDA (CDRH) Part 1040.10^＊3）

激光光接收元件

16位光电倍增管

白色的光源

白光LED

White-light-receiving元素

高清晰度彩色CMOS

激光共焦

高度显示分辨率

1海里

高度可重复性σ

10×: 100nm, 20×: 40nm, 50×: 20nm

高的准确性

0.2+L/ 100 μm以下^＊4

宽度显示分辨率

1海里

宽度可重复性3σ

10×: 400 nm, 20×: 100 nm, 50×: 50 nm

宽度精度

测量值≤±2%^＊4

焦点变化

高度显示分辨率

1海里

高度可重复性σ

5× 500nm, 10× 100nm, 20× 50nm, 50× 30nm

高的准确性

0.2+L/ 100 μm以下^＊4

宽度显示分辨率

1海里

宽度可重复性3σ

5×: 400 nm, 10×: 400 nm, 20×: 120 nm, 50×: 65 nm

宽度精度

测量值≤±2%^＊4

白光干涉法

高度显示分辨率

0.01纳米

宽度显示分辨率

0.1纳米

表面形貌可重复性

0.08纳米^{* 5}

重复性的均方根

0.008纳米^{* 5}

光谱干涉薄膜厚度测量

可重复性σ

0.1纳米^{* 5}

精度

±0.6%^{* 5}

光学观测

数量的像素

560万年

左轮手枪

6-hole电动手枪

环照明透镜

2.5×5×10×

光学变焦

1到8×

XY阶段配置

手动操作范围

70 × 70mm2.76“×2.76”

电动操作范围

100 × 100mm3.94“×3.94”

电力供应

电源电压

100到240 VAC, 50/60 Hz

电力消耗

150年弗吉尼亚州

环境阻力

环境温度

+ 15到28°C59到82.4°F

相对湿度

20 ~ 80% RH(无凝露)

重量

约13公斤