规格微头光谱干涉激光位移计SI-F系列

模型

SI-F01

SI-F10

SI-F80

图像

类型

微头型传感器头

远程式传感器头

厚度测量类型传感器头

测量范围

0.05 ~ 1.1 mm0.002”,0.04”*1

11.3 ~ 12.35 mm0.04”,0.49”*1

0.05 ~ 1.1 mm0.002”,0.04”*6
(可能探测距离:80 ~ 81.1 mm3.15”,3.19”

光源

红外SLD中心波长820 nm输出0.6 mW 1类激光产品(IEC60825-1/FDA (CDRH) Part 1040.10*2

光斑直径

ø20µmø0.000787”*3

ø40µmø0.001575”*3

ø20µmø0.000787”*3

线性

±0.3µm±0.000012”*4

±0.3µm±0.000012”* 7

决议

0.25µm0.00000984”*5

采样周期

200µ年代

导向器光源

1级激光产品(IEC60825-1/FDA (CDRH) Part 1040.10*2

LED显示屏

测量范围中心附近目标:绿灯。测量范围内目标:橙色灯光。测量范围外目标:闪烁橙色。

温度波动

0.01%的F.S. /°C

环境阻力

外壳评级

IP67

IP64

环境光

白炽灯或荧光灯:最大功率10000勒克斯。

环境温度

温度范围:0 ~ +85℃32至185华氏度

温度范围:0 ~ +40℃32至104华氏度

温度范围:0 ~ +50℃32至122华氏度

相对湿度

35 ~ 85% RH(无凝露)

抗振性

10 ~ 55 Hz,双振幅1.5 mm0.06”, X、Y、Z方向各2小时

材料

SUS

材料

传感器头

谱单元

聚碳酸酯

重量

约24克(含电缆)

约38克(含电缆)

约39克(含电缆)

*1表示距离传感器头部前方的距离。对于长距离型传感器头,个体差异可达±0.2 mm±0.01”
*2FDA (CDRH)的激光分类是根据IEC60825-1,按照激光通告No. 50的要求实施的。
*3表示测量范围内的最小光斑直径。
*4当测量目标为一块玻璃板,且平均测量次数设为256次时,获取此值。
*5这个值是通过测量位于测量范围中心的玻璃板表面,并设置平均测量次数为4,096来获得的。
*6厚度测量型传感器头显示玻璃板之间的距离的测量范围。确保测量目标在可能的探测距离范围内。
* 7这个值是通过测量两块玻璃板之间的距离得到的,平均测量次数设为256次。

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模型

SI-F1001V

SI-FA100*3

图像

单独的类型

SI-F1001 / SI-FD500

SI-FA100

类型

内置主控制器类型

扩张控制器*4

不。可连接频谱单位

2

1

显示

最小显示装置

0.001µm

N/A

显示范围

±999.999µm ~±9999.99 mm(7个设置可选)

显示周期

10次/秒。

接线盒

激光远程联锁输入

Non-voltage输入*1

N/A*1

TIMING1输入

RESET1输入

Auto-zero1输入

激光控制输入

模拟电压输出

±10 V × 2输出,输出阻抗:100 Ω*1

±10 V × 1输出,输出阻抗:100 Ω*1

模拟电流输出

4 ~ 20ma × 2路输出,最大负载电阻:350 Ω*1

4 ~ 20ma × 1输出,最大负载电阻:350 Ω*1

报警输出

NPN集电极开路输出*1

N/A*1

一般比较器输出

NPN型集电极开路输出*1

扩张连接器

TIMING2输入

Non-voltage输入*1

复位输入

Auto-zero输入

程序切换输入

无电压输入x 3输入*1

报警输出

NPN集电极开路输出*1

比较器/二进制输出

二进制输出

测量值数据输出(21位)输出可选NPN集电极开路输出*1

选通脉冲输出

NPN型集电极开路输出*1

二元选择输出

二元选择输入

Non-voltage输入*1

rs - 232 c接口

测量数据输出和控制输入/输出(波特率可选,最大115200bps)

N/A

USB接口

USB 2.0高速兼容(USB 1.1全速兼容)

以太网接口

100 base-tx / 10 base - t

主要功能

12 .同时测量
计算、平均、滤波、缩放测量、量值报警、公差设定、自动归零、数据存储、光控、8程序存储、
干涉仪模式、掩模、连接设置支持软件等。

评级

电源电压

24 VDC±10%,Ripple (P-P) 10%或更低

由主控制器提供

电流消耗

1头连接:0.6 A或以下。6头连接:1.5 A或以下。

环境阻力

环境温度

温度范围:0 ~ +50℃32至122华氏度*2

相对湿度

35 ~ 85% RH(无凝露)

抗振性

10 ~ 55 Hz,双振幅0.5 mm0.02”, X、Y、Z方向各2小时

重量

约600克

约300克

*1•NPN集电极开路输出额定值:50 mA最大。(最大40v),剩余电压:最大0.5 V。
•无电压输入额定电压:ON电压:最大1v。,关断电流:0.6 mA max。
•SI系列的部分输入/输出电路内部是通用的。注意不要因为电缆/外部的电位差而导致内部公共端子之间产生电位差
设备。具体请参见“接线注意事项”。
*22个或2个以上级联控制器连接时,环境温度为0℃~ +40℃32至104华氏度
*3SI-F1003可独立使用,可通过显示面板(SI-FD500)和设置支持软件(SI-H3)进行测量值显示和设置更改。
*4主控制器上最多可连接4个扩展控制器。

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