光谱干预晶圆厚度表
Si-F80r系列
控制器Si-F1000
规格
模型 |
Si-F1000*1 |
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类型 |
主控制器单独类型*2 |
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可连接频谱单元的数量 |
2 |
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展示 |
最小显示单元 |
0.001 µm |
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显示范围 |
±999.999 µm至±9999.99毫米（可以选择7个设置） |
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显示周期 |
10次/秒 |
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终端块 |
激光远程互锁输入 |
非电压或电压输入*3。*4 |
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Timing1输入 |
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RESET1输入 |
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Auto-Zero1输入 |
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激光控制输入 |
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模拟电压输出 |
±10 V x 2输出，输出阻抗：100Ω*4 |
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模拟电流输出 |
4至20 mA x 2输出，最大载荷电阻：350Ω*4 |
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警报输出 |
NPN开放式输出（N.C.）*4 |
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一般比较器输出 |
NPN开放式输出*5*4 |
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扩展连接器 |
Timing2输入 |
非电压或电压输入*3。*4 |
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重置输入 |
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自动零输入 |
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程序开关输入 |
非电压输入x 3输入*4 |
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警报输出 |
NPN开放式输出（N.C.）*4 |
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比较器/二进制输出 |
二进制输出 |
测量的价值数据输出（21位）排除可选的NPN开放式收集器输出*4 |
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频闪输出 |
NPN开放式输出*5*4 |
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二进制选择输出 |
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二进制选择输入 |
非电压或电压输入*3。*4 |
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RS-232C接口 |
测量的数据输出和控制输入/输出（最大波特率：115200 bps，可选） |
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USB接口 |
符合USB修订版2.0 HI-SPEED（USB 1.1全速兼容） |
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以太网接口 |
100base-tx/10base-t |
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主要功能 |
12同时测量评估，平均值，过滤器，缩放测量，测量值警报，公差设置，自动零，数据存储，光监视器，8个程序内存，干涉仪模式，掩码，掩码，设置支持软件等。 |
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评分 |
电压 |
24 VDC±10％，波纹（P-P）10％或更少 |
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目前的消费 |
连接一个头：0.6 A或更少，连接了六个头：1.5 A或更少。 |
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环境阻力 |
环境温度 |
0至+50°C32至122°F*6 |
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相对湿度 |
35至85％RH（无凝结） |
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振动阻力 |
10至55 Hz，双振幅0.5毫米0.02“在x，y和z方向的每个方向中，每个两个小时 |
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重量 |
大约600克 |
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*1可以独立使用Si-F1003，可以使用显示面板（SI-FD500）和设置支持软件（SI-H3）进行测量值显示和设置更改。 |
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