光谱干涉晶片测厚仪

SI-F80R系列

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控制器,带显示单元SI-F1001V

规范

模型

SI-F1001V

单独的类型

SI-F1001 / SI-FD500

类型

内置主控制器类型

不。可连接频谱单位

2

显示

最小显示装置

0.001µm

显示范围

±999.999µm ~±9999.99 mm(7个设置可选)

显示周期

10次/秒。

接线盒

激光远程联锁输入

Non-voltage输入*1

TIMING1输入

RESET1输入

Auto-zero1输入

激光控制输入

模拟电压输出

±10 V × 2输出,输出阻抗:100 Ω*1

模拟电流输出

4 ~ 20ma × 2路输出,最大负载电阻:350 Ω*1

报警输出

NPN集电极开路输出*1

一般比较器输出

NPN型集电极开路输出*1

扩张连接器

TIMING2输入

Non-voltage输入*1

复位输入

Auto-zero输入

程序切换输入

无电压输入x 3输入*1

报警输出

NPN集电极开路输出*1

比较器/二进制输出

二进制输出

测量值数据输出(21位)输出可选NPN集电极开路输出*1

选通脉冲输出

NPN型集电极开路输出*1

二元选择输出

二元选择输入

Non-voltage输入*1

rs - 232 c接口

测量数据输出和控制输入/输出(波特率可选,最大115200bps)

USB接口

USB 2.0高速兼容(USB 1.1全速兼容)

以太网接口

100 base-tx / 10 base - t

主要功能

12 .同时测量
计算、平均、滤波、缩放测量、量值报警、公差设定、自动归零、数据存储、光控、8程序存储、
干涉仪模式、掩模、连接设置支持软件等。

评级

电源电压

24 VDC±10%,Ripple (P-P) 10%或更低

电流消耗

1头连接:0.6 A或以下。6头连接:1.5 A或以下。

环境阻力

环境温度

温度范围:0 ~ +50℃32至122华氏度*2

相对湿度

35 ~ 85% RH(无凝露)

抗振性

10 ~ 55 Hz,双振幅0.5 mm0.02”, X、Y、Z方向各2小时

重量

约600克

*1•NPN集电极开路输出额定值:50 mA最大。(最大40v),剩余电压:最大0.5 V。
•无电压输入额定电压:ON电压:最大1v。,关断电流:0.6 mA max。
•SI系列的部分输入/输出电路内部是通用的。注意不要因为电缆/外部的电位差而导致内部公共端子之间产生电位差
设备。具体请参见“接线注意事项”。
*22个或2个以上级联控制器连接时,环境温度为0℃~ +40℃32至104华氏度

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