光谱干涉晶片厚度计
SI-F80R系列
Controller, Not Subject to Export ControlSI-F1003
规格
模型 |
SI-F1003* 1 |
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类型 |
主控制器单独类型* 2 |
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No. of connectable spectrum units |
2 |
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展示 |
最小显示单元 |
0.001μm. |
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显示范围 |
±999.999 µm to ±9999.99 mm (7 settings selectable) |
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显示周期 |
10次/秒 |
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终端块 |
激光远程互锁输入 |
非电压或电压输入* 3.。* 4. |
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时序1输入 |
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重置1输入 |
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自动零1输入 |
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Laser control input |
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模拟电压输出 |
±10 V x 2输出,输出阻抗:100Ω* 4. |
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模拟电流输出 |
4至20 mA x 2输出,最大负载电阻:350Ω* 4. |
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报警输出 |
NPN开放集电极输出(N.C.)* 4. |
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General comparator output |
NPN开路集电极输出* 5.* 4. |
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膨胀连接器 |
时序2输入 |
非电压或电压输入* 3.。* 4. |
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重置输入 |
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自动零输入 |
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程序交换机输入 |
非电压输入x 3输入* 4. |
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报警输出 |
NPN开放集电极输出(N.C.)* 4. |
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比较器/二进制输出 |
二进制输出 |
测量值数据输出(21位)Out可选的NPN开路收集器输出* 4. |
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频闪输出 |
NPN开路集电极输出* 5.* 4. |
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Binary selection output |
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二进制选择输入 |
非电压或电压输入* 3.。* 4. |
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RS-232C接口 |
测量数据输出和控制输入/输出(最大波特率:115200 BPS,可选) |
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USB接口 |
符合USB修订版2.0高速(USB 1.1全速兼容) |
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以太网接口 |
100base-tx / 10base-t |
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主要功能 |
12外同时测量,平均,过滤器,缩放测量,测量值报警,公差设置,自动零,数据存储,光监测器,8节目存储器,干涉仪模式,掩模,设置支持软件的连接等。 |
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评分 |
Power voltage |
24 VDC±10%,纹波(P-P)10%或更少 |
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目前的消费 |
一个头部连接:0.6 A或更少。连通六头:1.5个或更少。 |
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环境抵抗力 |
环境温度 |
0 to +50 °C32 to 122 °F* 6. |
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相对湿度 |
35至85%RH(无凝结) |
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抗振性 |
10至55 Hz,双幅度0.5毫米0.02“,在x,y和z方向中的每一个中2小时 |
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重量 |
约。600克 |
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* 1SI-F1003可以独立使用,可以使用显示面板(SI-FD500)和设置支持软件(SI-H3)来完成测量值显示和设置变化。 |