光谱干涉晶片测厚仪
SI-F80R系列
光谱分析单元SI-F80RU
规范
模型 |
SI-F80RU |
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类型 |
晶圆厚度测量型谱单元 |
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测量范围 |
10 ~ 310µm0.000394”,0.0122”(当n = 3.5)*1 |
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可能的探测距离 |
80 ~ 81.1 mm3.15”,3.19” |
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光源 |
红外SLD输出0.6 mW, 1级激光产品(IEC60825-1, FDA (CDRH) Part 1040.10*2) |
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光斑直径 |
ø25µm*3 |
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线性 |
±0.1µm±0.000004”(当n = 3.5)*4 |
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决议 |
0.001µm*5 |
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采样周期 |
200µ年代 |
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LED显示屏 |
测量范围中心附近目标:绿灯。测量范围内目标:橙色灯光。 |
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温度波动 |
0.01%的F.S. /°C |
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环境阻力 |
外壳评级 |
- |
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环境光 |
白炽灯或荧光灯:最大功率10000勒克斯。 |
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环境温度 |
0 ~ +35℃32至95华氏度 |
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相对湿度 |
35 ~ 80% RH(无凝露) |
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抗振性 |
10 ~ 55 Hz,双振幅0.5 mm0.02”, X、Y、Z方向各2小时 |
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材料 |
聚碳酸酯 |
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重量 |
约1.2公斤 |
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*1表示折射率为3.5时的厚度测量范围。(厚度测量范围为35 ~ 1100 μ m0.001378”,0.0433”当折射率为1时。) |