光谱干涉晶片测厚仪

SI-F80R系列

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光谱分析单元SI-F80RU

规范

模型

SI-F80RU

类型

晶圆厚度测量型谱单元

测量范围

10 ~ 310µm0.000394”,0.0122”(当n = 3.5)*1

可能的探测距离

80 ~ 81.1 mm3.15”,3.19”

光源

红外SLD输出0.6 mW, 1级激光产品(IEC60825-1, FDA (CDRH) Part 1040.10*2

光斑直径

ø25µm*3

线性

±0.1µm±0.000004”(当n = 3.5)*4

决议

0.001µm*5

采样周期

200µ年代

LED显示屏

测量范围中心附近目标:绿灯。测量范围内目标:橙色灯光。
测量范围外目标:闪烁橙色。

温度波动

0.01%的F.S. /°C

环境阻力

外壳评级

-

环境光

白炽灯或荧光灯:最大功率10000勒克斯。

环境温度

0 ~ +35℃32至95华氏度

相对湿度

35 ~ 80% RH(无凝露)

抗振性

10 ~ 55 Hz,双振幅0.5 mm0.02”, X、Y、Z方向各2小时

材料

聚碳酸酯

重量

约1.2公斤

*1表示折射率为3.5时的厚度测量范围。(厚度测量范围为35 ~ 1100 μ m0.001378”,0.0433”当折射率为1时。)
*2FDA (CDRH)的激光分类是根据IEC60825-1,按照激光通告No. 50的要求实施的。
*3表示测量范围内的最小光斑直径。
*4这个值是通过测量两块玻璃板之间的距离得到的,平均测量次数设为256次,转换成折射率为3.5。
*5这个值是通过在可能的探测距离内测量0.3毫米厚的玻璃目标,平均测量次数设为4,096次获得的。

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