光谱干涉晶圆厚度计
SI-F80R系列
头部扩展组SI-FA100
规范
模型 |
SI-FA100* 1 |
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单独的类型 |
SI-FA100 |
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类型 |
扩张控制器* 2 |
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不。可连接的频谱单元 |
1 |
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显示 |
最小显示单元 |
N/A |
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显示范围 |
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显示周期 |
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接线盒 |
激光远程联锁输入 |
N/A* 3 |
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TIMING1输入 |
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RESET1输入 |
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Auto-zero1输入 |
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激光控制输入 |
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模拟电压输出 |
±10v x 1输出，输出阻抗:100 Ω* 3 |
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模拟电流输出 |
4至20 mA x 1输出，最大负载电阻:350 Ω* 3 |
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报警输出 |
N/A* 3 |
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一般比较器输出 |
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扩张连接器 |
TIMING2输入 |
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复位输入 |
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Auto-zero输入 |
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程序开关输入 |
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报警输出 |
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比较器/二进制输出 |
二进制输出 |
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选通脉冲输出 |
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二进制选择输出 |
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二进制选择输入 |
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rs - 232 c接口 |
N/A |
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USB接口 |
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以太网接口 |
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主要功能 |
12输出同步测量 |
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评级 |
电源电压 |
由主控制器提供 |
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电流消耗 |
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环境阻力 |
环境温度 |
0 ~ +50°C32至122华氏度* 4 |
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相对湿度 |
35 ~ 85% RH(无冷凝) |
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抗振性 |
10至55赫兹，双振幅0.5毫米0.02”，在X, Y和Z方向各2小时 |
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重量 |
大约300克 |
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* 1SI-F1003可独立使用，可通过显示面板(SI-FD500)和设置支持软件(SI-H3)完成测量值显示和设置更改。 |
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