微头光谱干涉激光位移计
SI-F系列
光谱分析单元SI-F80U
规范
模型 |
SI-F80U |
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类型 |
测厚型谱仪 |
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测量范围 |
0.05 ~ 1.1 mm0.002“至0.04”* 1 |
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光源 |
1类激光产品(IEC60825-1/FDA (CDRH) Part 1040.10* 2) |
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光斑直径 |
ø20µmø0.000787”* 3 |
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线性 |
±0.2µm±0.000008”* 4 |
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决议 |
0.001µm* 5 |
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采样周期 |
200µ年代 |
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导向光源 |
1级激光产品(IEC60825-1/FDA (CDRH) Part 1040.10* 2) |
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LED显示屏 |
靠近测量范围中心的目标:绿灯。测量范围内的目标:橙色灯。测量范围外的目标:橙色闪烁。 |
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温度波动 |
0.01% F.S./°C |
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环境阻力 |
外壳评级 |
- |
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环境光 |
白炽灯或荧光灯:最高10,000勒克斯。 |
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环境温度 |
0到+35°C32到95°F |
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相对湿度 |
35 ~ 80% RH(无凝露) |
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抗振性 |
10 ~ 55hz,双幅0.5 mm0.02”X、Y、Z方向各2小时 |
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材料 |
聚碳酸酯 |
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重量 |
大约1公斤 |
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* 1厚度测量型传感器头显示玻璃板之间距离的测量范围。确保测量目标在可能的探测距离范围内。 |