微头光谱干涉激光位移计
SI-F系列
不受出口管制的光谱学单元SI-F80U3
规范
模型 |
SI-F80U3 |
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测量范围 |
0.05 ~ 1.1 mm0.002”,0.04”＊1 |
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光源 |
红外SLD中心波长820 nm输出0.6 mW 1类激光产品(IEC60825-1/FDA (CDRH) Part 1040.10＊2） |
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光斑直径 |
ø20µmø0.000787”＊3 |
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线性 |
±0.3µm±0.000012”＊4 |
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决议 |
0.25µm0.00000984”＊5 |
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采样周期 |
200µ年代 |
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导向器光源 |
1级激光产品(IEC60825-1/FDA (CDRH) Part 1040.10＊2） |
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LED显示屏 |
测量范围中心附近目标:绿灯。测量范围内目标:橙色灯光。测量范围外目标:闪烁橙色。 |
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温度波动 |
0.01%的F.S. /°C |
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环境阻力 |
环境光 |
白炽灯或荧光灯:最大功率10000勒克斯。 |
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环境温度 |
0 ~ +35℃32至95华氏度 |
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相对湿度 |
35 ~ 80% RH(无凝露) |
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抗振性 |
10 ~ 55 Hz，双振幅0.5 mm0.02”， X、Y、Z方向各2小时 |
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材料 |
聚碳酸酯 |
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重量 |
大约1公斤 |
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＊1厚度测量型传感器头显示玻璃板之间的距离的测量范围。确保测量目标在可能的探测距离范围内。 |
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