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激光扫描共聚焦显微镜

激光扫描显微镜

与传统光学显微镜不同,这些系统主要用于三维表面分析和表征。通过结合两个光源,一个是用于收集颜色的白光,一个是用于扫描物体表面并收集详细高度信息的激光源。当显微镜观察表面时,激光在XYZ方向上被扫描,以收集整个指定范围内的数据。其结果是一个高分辨率、大景深、具有纳米级高度分辨率的彩色图像,用于精确的轮廓和粗糙度测量。该设备能够结合光学显微镜、扫描电子显微镜和表面粗糙度计的许多功能,但仍然保持光学显微镜的易用性。

测量原理功能图。1.激光在X和Y方向上扫描。2.物镜在Z方向移动,激光再次在X和Y方向扫描。3.重复此扫描过程,直到达到测量深度的终点。4.测量完成。